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Ag/AuGeNi/n-GaSb欧姆接触的研究

计算机科学
作者
钟兴儒,刘爱民,林兰英,常秀兰,陶琨,陈顺英
出处
期刊:太阳能学报 卷期号:16 (4): 384-388
链接
摘要

研究了Ag/AuGeNi/n-GaSb在150℃─450℃下合金处理对欧姆接触的的影响,最佳合金温度为220℃,此时接触电阻率为6.7×10~(-4)Ωcm~2。用AES和XRD研究了金属半导体界面处的扩散及物相变化,并讨论了接触电阻率与微结构的关系。

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