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Ag/AuGeNi/n-GaSb欧姆接触的研究
计算机科学
作者
钟兴儒,
刘爱民,
林兰英,
常秀兰,
陶琨,
陈顺英
出处
期刊:太阳能学报
日期:1995-01-01
卷期号:16 (4): 384-388
链接
ac.cn
摘要
研究了Ag/AuGeNi/n-GaSb在150℃─450℃下合金处理对欧姆接触的的影响,最佳合金温度为220℃,此时接触电阻率为6.7×10~(-4)Ωcm~2。用AES和XRD研究了金属半导体界面处的扩散及物相变化,并讨论了接触电阻率与微结构的关系。
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