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Tin oxide growth in nanoporous silicon: an approach to an efficient solid state electrode

多孔硅 材料科学 纳米孔 纳米孔 微晶 化学工程 多孔性 图层(电子) 锡石 氧化锡 相(物质) 光致发光 纳米技术 氧化物 化学 冶金 光电子学 复合材料 有机化学 工程类
作者
J.A. Roger,M. G. Blanchin,B. Canut,V. S. Teodorescu,Sonia E. Létant,Jean‐Claude Vial
出处
期刊:Semiconductor Science and Technology [IOP Publishing]
卷期号:14 (11): L29-L32 被引量:6
标识
DOI:10.1088/0268-1242/14/11/101
摘要

In this preliminary work, we show the ability of the Sol-Gel technique to introduce a solid phase into the nanopores of porous silicon. From RBS-C analysis, a complete incorporation of both tin and oxygen atoms over most of the porous layer thickness has been evidenced. TEM observations revealed the presence of small crystallites of cassiterite embedded in the porous layer. Providing that the silicon porosity does not exceed 70%, this solid phase does not degrade the skeleton of porous silicon and does not inhibit photoluminescence.
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