Correlation of PECVD SiOxNy dielectric layer structural properties and Si/SiOxNy/Al capacitors interface electrical properties

材料科学 电容器 等离子体增强化学气相沉积 电介质 图层(电子) 复合材料 光电子学 电气工程 工程类 电压
作者
Katia F. Albertin,I. Pereyra
出处
期刊:Journal of Non-crystalline Solids [Elsevier]
卷期号:352 (9-20): 1438-1443 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.jnoncrysol.2005.11.076
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