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Fabrication of Composite Thin Film Strain Gauge on Flexspline by Photoresist Stencil Lithography

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作者
Yang Zhao,Wenxuan Wang,Sijie Zhang,Jin Liu,Yuhuang Ying,Hongyu Chen,Zhenyin Hai,Daoheng Sun
出处
期刊：IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-08-15 卷期号：24 (16): 25439-25447
标识
DOI：10.1109/jsen.2024.3421999
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