溅射
腔磁控管
溅射沉积
薄膜
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
脉冲直流
氧化物
分析化学(期刊)
光电子学
化学
冶金
纳米技术
色谱法
作者
J. Musil,Pavel Baroch,J. Vlček,K.H. Nam,Jung‐Hoon Han
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2004-09-17
卷期号:475 (1-2): 208-218
被引量:373
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2004.07.041
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI