High-quality laser processing of fused silica with bursts of ultrafast pulses

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作者
Xiaozhu Xie,Deyi Ou,Dianhe Ma,Jiale He,Hsinhan Peng
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Nature]
卷期号:128 (12) 被引量:8
标识
DOI:10.1007/s00339-022-06218-0
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