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Fabrication and characterization of modulation-doped β-(AlxGa1−x)2O3/Ga2O3 tri-metal FET utilizing ultra-high vacuum deposition based on plasma-assisted molecular beam epitaxy

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作者
V. N. Senthil Kumaran,M. Venkatesh,Azath Mubarakali,Abdulrahman Saad Alqahtani,P. Parthasarathy
出处
期刊：Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Nature]
日期：2024-09-01 卷期号：35 (26)
标识
DOI：10.1007/s10854-024-13430-6
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