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A preliminary study of SF6 based inductively coupled plasma etching techniques for beta gallium trioxide thin film

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作者
Hongwei Liang,Yuanpeng Chen,Xiaochuan Xia,Chao Zhang,Rensheng Shen,Yang Liu,Yingmin Luo,Guotong Du
出处
期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2015-06-18 卷期号：39: 582-586 被引量：35
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2015.05.065
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