Small-area marks realize nanoscale lithography alignment by spatial and frequency domain fusion neural network

空间频率 光学 平版印刷术 纳米尺度 人工神经网络 电子束光刻 融合 材料科学 计算机科学 人工智能 纳米技术 物理 抵抗 语言学 哲学 图层(电子)
作者
Yuliang Long,Yan Tang,Jinfeng Jiang,Xingyu Gong,Yanfang Yang,Wei Liu,Lixin Zhao,Xiaolong Cheng
出处
期刊:Optics Letters [The Optical Society]
标识
DOI:10.1364/ol.543600

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