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Effect of argon addition on CH4-H2 microwave plasma: Self-consistent simulation and nanodiamond coating deposition

纳米金刚石 材料科学 沉积（地质） 氩 涂层 微波食品加热 等离子体 纳米技术 原子物理学 复合材料 钻石 物理 核物理学 生物 古生物学 量子力学 沉积物
作者
Zhiliang Yang,Zhijian Guo,Kang An,Yuchen Liu,Yunkai Wang,Junjun Wei,Jinlong Liu,Liangxian Chen,Ouyang Xiaoping,Chengming Li
出处
期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier]
日期：2024-07-25 卷期号：490: 131165-131165
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2024.131165
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