A Study on Material Removal Caused by Phase Transformation of Monocrystalline Silicon During Nanocutting Process via Molecular Dynamics Simulation

单晶硅 分子动力学 转化(遗传学) 过程(计算) 材料科学 相(物质) 化学工程 化学物理 工艺工程 计算化学 计算机科学 化学 冶金 有机化学 工程类 生物化学 基因 操作系统
作者
Peng Zhang,Hongwei Zhao,Lin Zhang,Chengli Shi,Hu Huang
出处
期刊:Journal of Computational and Theoretical Nanoscience [American Scientific Publishers]
卷期号:11 (1): 291-296 被引量:14
标识
DOI:10.1166/jctn.2014.3350
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