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标题
Optimized Wafer Edge Condition in Lithographic Process For Peeling Defect Reduction
用于减少剥离缺陷的光刻工艺中晶片边缘条件的优化
相关领域
斜面 薄脆饼 材料科学 蚀刻(微加工) GSM演进的增强数据速率 平版印刷术 锥齿轮 空白 氧化物 光电子学 图层(电子) 计算机科学 纳米技术 机械工程 工程类 复合材料 冶金 电信
网址
DOI
10.1109/cstic58779.2023.10219375 doi
其它 期刊:2022 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC)
作者:Shanshan Chen; Hunglin Chen; Yin Long; Kai Wang
出版日期:2023-06-26
求助人
lgh 在 2025-01-03 09:00:35 发布自陕西,悬赏 10 积分
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