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Transfer of AlGaN/GaN RF-devices onto diamond substrates via van der Waals bonding
通过范德华键合将AlGaN/GaN射频器件转移到金刚石衬底上
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期刊:International Journal of Microwave and Wireless Technologies 作者:Thomas Gerrer; V. Cimalla; Patrick Waltereit; S. Müller; Fouad Benkhelifa; et al 出版日期:2018-04-25 |
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