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标题
Comparison of thermal stability of Mo/Si multilayers with different crystallinities of Mo layers
不同Mo层结晶度的Mo/Si多层膜热稳定性比较
相关领域
材料科学 结晶度 无定形固体 热稳定性 溅射沉积 图层(电子) 表面粗糙度 溅射 复合材料 结晶学 分析化学(期刊) 薄膜 化学工程 纳米技术 化学 色谱法 工程类
网址
DOI
10.1364/ao.482940 doi
其它 期刊:Applied Optics
作者:Hongxuan Song; Zhe Zhang; Xiangyue Liu; Qiushi Huang; Hongjun Zhou; et al
出版日期:2023-03-24
求助人
阳光总在风雨后 在 2023-12-27 11:38:40 发布自上海,悬赏 10 积分
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