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Demonstration of MOCVD-grown Ga2O3 power MOSFETs on sapphire with in-situ Si-doped by tetraethyl orthosilicate (TEOS)
在蓝宝石上进行原位硅正硅酸四乙酯(TEK)原位掺硅的MOVD生长的Ga2 O3功率场效应晶体管演示
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
蓝宝石
掺杂剂
跨导
化学气相沉积
外延
正硅酸乙酯
击穿电压
兴奋剂
光电子学
分析化学(期刊)
纳米技术
电压
化学
电气工程
晶体管
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期刊:Discover Nano 作者:S.C. Ngo; Chan-Hung Lu; Fu‐Gow Tarntair; Sheng-Ti Chung; Tian‐Li Wu; et al 出版日期:2023-05-30 |
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