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 Demonstration of MOCVD-grown Ga2O3 power MOSFETs on sapphire with in-situ Si-doped by tetraethyl orthosilicate (TEOS) 在蓝宝石上进行原位硅正硅酸四乙酯（TEK）原位掺硅的MOVD生长的Ga2 O3功率场效应晶体管演示
相关领域
金属有机气相外延
材料科学
蓝宝石
掺杂剂
跨导
化学气相沉积
外延
正硅酸乙酯
击穿电压
兴奋剂
光电子学
分析化学（期刊）
纳米技术
电压
化学
电气工程
晶体管
图层（电子）
光学
色谱法
激光器
物理
工程类
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期刊：Discover Nano 作者：S.C. Ngo; Chan-Hung Lu; Fu‐Gow Tarntair; Sheng-Ti Chung; Tian‐Li Wu; et al 出版日期：2023-05-30 |
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