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标题
Electrochemical Grooving for Slicing Silicon Wafers Using Catalytic Wires
使用催化丝切片硅片的电化学开槽
相关领域
切片 薄脆饼 电化学 材料科学 硅 催化作用 冶金 光电子学 电极 化学 机械工程 工程类 物理化学 生物化学
网址
https://doi.org/10.1149/ma2008-02/40/2589
AI链接 iop.orgdoi.org
DOI
10.1149/ma2008-02/40/2589 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Chia-Lung Lee; Yuji Kanda; Mohamed Shaker Salem; Takeshi Hirai; Shigeru Ikeda; et al
出版日期：2008-08-29
求助人
强健的雨泽 在 2024-12-23 10:25:30 发布自湖北，悬赏 10 积分
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