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 Controlled corrosion behaviors of copper in oxidizer solutions for chemical mechanical polishing: Influence of the decomposition products 化学机械抛光用氧化剂溶液中铜的受控腐蚀行为：分解产物的影响
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期刊：Corrosion Science 作者：Pengfei Chang; Zisheng Huang; Yulong Chen; Huiqin Ling; Yunwen Wu; et al 出版日期：2024-08-06 |
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