发布文献求助
已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整的填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！
求助中
  • 文献求助详情
标题
Metrology-class EUV light source based on broadband emission from copper-target laser produced plasma
基于铜靶激光等离子体宽带发射的计量级EUV光源
相关领域
极紫外光刻 宽带 等离子体 激光器 铜 计量学 极端紫外线 光源 光学 材料科学 光电子学 物理 冶金 量子力学
网址
https://doi.org/10.1364/euvxray.2024.etu6a.2
DOI
10.1364/euvxray.2024.etu6a.2 doi
其它 期刊：
作者：Seth L. Cousin; Feng Dong; Matt Hettermann; Dave Houser; Patrick Naulleau
出版日期：2024-01-01
求助人
daoketuo 在 2024-11-02 17:52:33 发布自甘肃，悬赏 10 积分
下载 暂无链接，等待应助者上传
 
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
上个求助
下个求助
相关文献
  1. Extreme ultraviolet (EUV) source and ultra-high vacuum chamber for studying EUV-induced processes
  2. Evaluation of EUV scatterometry for CD characterization of EUV masks using rigorous FEM-simulation
  3. EUV emission from solids illuminated with a laser-plasma EUV source
  4. Quantitative measurement of EUV resist outgassing
  5. Development of Extreme-Ultraviolet Light Source by Laser-Produced Plasma
  6. Extreme ultraviolet resist outgassing and its effect on nearby optics
  7. Throughput compensation through optical proximity correction for realization of an extreme-ultraviol...
  8. Time exposure performance of Mo-Au Gibbsian segregating alloys for extreme ultraviolet collector opt...
  9. Pulsed Plasma EUV Sources
  10. Optical Devices for Extreme Ultraviolet
　...点击展开更多...　
求助 / 应助时间线

  • 现在，等待您上传文献

  • 5小时前

    科研通AI2.0 科研通AI2.0 机器人 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载

    17:52:36 未找到该文献，机器人已退出，请等待人工下载
    17:52:34 科研通AI机器人（北京）收到请求，开始寻找文献
    17:52:34 已向机器人发送请求

  • 5小时前

    daoketuo daoketuo 求助人 Lv11 发起了本次求助

更新
大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)
科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。 对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。
实时播报
Bebetter关注了科研通微信公众号
9秒前
20秒前
26秒前
鱼香凝发布了新的文献求助10
28秒前
33秒前
简让完成签到 ，获得积分10
35秒前
领导范儿的应助被清爽笑白采纳，获得10
35秒前
37秒前
37秒前
38秒前
赵欣发布了新的文献求助10
39秒前
慕青的应助被合适的芸遥采纳，获得10
40秒前
44秒前
轨迹发布了新的文献求助10
45秒前
酷波er的应助被温暖寻雪采纳，获得10
46秒前
47秒前
小丫头墩子完成签到，获得积分10
47秒前
Nicola完成签到，获得积分10
49秒前
赵欣完成签到，获得积分10
51秒前
尉迟半芹完成签到，获得积分10
52秒前
爆米花的应助被ccalvintan采纳，获得10
52秒前
尉迟半芹发布了新的文献求助50
57秒前
Neehi发布了新的文献求助10
1分钟前
Duduk完成签到，获得积分10
1分钟前
脑洞疼的应助被啊湫超爱学习采纳，获得10
1分钟前
cctv18的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
田様的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
莫言的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科研通AI2S的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
科目三的应助被科研通管家采纳，获得30
1分钟前
SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10
1分钟前
1分钟前
shardowzx完成签到，获得积分10
1分钟前
shardowzx发布了新的文献求助10
1分钟前
翟延恶发布了新的文献求助10
1分钟前
lycoris发布了新的文献求助10
1分钟前
打打的应助被小医神僧采纳，获得30
1分钟前
YOLO完成签到 ，获得积分10
1分钟前
1分钟前
高分求助中
中国国际图书贸易总公司40周年纪念文集 大事记1949-1987 2000
TM 5-855-1(Fundamentals of protective design for conventional weapons) 1000
草地生态学 880
Threaded Harmony: A Sustainable Approach to Fashion 799
Basic Modern Theory of Linear Complex Analytic 𝑞-Difference Equations 510
Queer Politics in Times of New Authoritarianisms: Popular Culture in South Asia 500
Livre et militantisme : La Cité éditeur 1958-1967 500
热门求助领域 （近24小时）
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号，转发送积分 3059244
求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 2715321
关于积分的说明 7444545
捐赠科研通 2360696
什么是DOI，文献DOI怎么找？ 1250963
科研通“疑难数据库（出版商）”最低求助积分说明 607584
版权声明 596432
Copyright © 2020-2024 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved
科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力
本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播
版权声明 关于本站 捐赠本站 提交工单 客服中心
皖ICP备2024041134号-1 皖公网安备34019202002308
科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：826996720【点击一键加群】
科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入
关注微信服务号
科研通