Applications of chemical mechanical planarization (CMP) to More than Moore devices

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标题	书籍（章节） Applications of chemical mechanical planarization (CMP) to More than Moore devices 化学机械平坦化（CMP）在摩尔以上器件中的应用相关领域化学机械平面化微电子机械系统微电子薄脆饼晶体管微处理器电气工程材料科学晶片键合电子工程工程类计算机科学纳米技术电压图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1016/b978-0-12-821791-7.00001-0
DOI	10.1016/b978-0-12-821791-7.00001-0 doi
其它	期刊：Elsevier eBooks 作者：G. Zwicker 出版日期：2021-09-17
求助人	nkpdsy 在 2024-10-31 16:13:17 发布自山东，悬赏 30 积分
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