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 Atomic Layer Deposition Beyond Thin Film Deposition Technology 超越薄膜沉积技术的原子层沉积
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期刊：Advanced materials and technologies 作者：Sumaira Yasmeen; Soojung Ryu; Sung‐Hoon Lee; Han‐Bo‐Ram Lee 出版日期：2022-10-10 |
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