Atomic Layer Deposition Beyond Thin Film Deposition Technology

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标题	Atomic Layer Deposition Beyond Thin Film Deposition Technology 超越薄膜沉积技术的原子层沉积相关领域材料科学原子层沉积沉积（地质）图层（电子）半导体工业制作涂层蚀刻（微加工）原子层外延纳米技术光刻胶工程物理制造工程工程类古生物学沉积物生物医学替代医学病理
网址	https://doi.org/10.1002/admt.202200876
DOI	10.1002/admt.202200876 doi
其它	期刊：Advanced materials and technologies 作者：Sumaira Yasmeen; Soojung Ryu; Sung‐Hoon Lee; Han‐Bo‐Ram Lee 出版日期：2022-10-10
求助人	kalisu24 在 2024-11-01 22:28:32 发布自天津，悬赏 10 积分
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