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标题
High-speed and wide-field nanoscale table-top ptychographic EUV imaging and beam characterization with a sCMOS detector
用sCMOS探测器进行高速宽视场纳米级桌面叠像EUV成像和光束表征
相关领域
光学 探测器 极紫外光刻 波前 帧速率 物理 材料科学 光电子学
网址
https://doi.org/10.1364/oe.485779
DOI
10.1364/oe.485779 doi
其它 期刊：Optics express
作者：Wilhelm Eschen; Chang Liu; Daniel Penagos Molina; Robert Klas; Jens Limpert; et al
出版日期：2023-04-14
求助人
精明的南露 在 2024-07-05 23:38:38 发布自北京，悬赏 10 积分
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