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 Deposition and Characterization of Ammonia-free PECVD Silicon Nitride 无氨PECVD氮化硅的沉积与表征
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期刊： 作者：Yue Li; Yi Luo; Zhizeng Fang; Dengqin Xu; Qi Li; et al 出版日期：2023-04-25 |
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