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标题
Temperature dependence of the sticking coefficients of bis-diethyl aminosilane and trimethylaluminum in atomic layer deposition
原子层沉积中双二乙基氨基硅烷与三甲基铝粘附系数的温度依赖性
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网址
DOI
10.1116/1.4971197 doi
其它 期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films
作者:Matthias C. Schwille; Timo Schössler; Florian Schön; M. Oettel; Johann W. Bartha
出版日期:2016-12-02
求助人
Yan 在 2024-12-17 10:32:31 发布自上海,悬赏 10 积分
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