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 Effects of O2 plasma treatment on moisture barrier properties of SiO2 grown by plasma-enhanced atomic layer deposition O2等离子体处理对等离子体增强原子层沉积SiO2阻湿性能的影响
相关领域
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期刊：Ceramics International 作者：Yujin Lee; Seunggi Seo; Il‐Kwon Oh; Sang-Hun Lee; Hyungjun Kim 出版日期：2019-06-03 |
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