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 In-cycle evolution of thickness and roughness parameters during oxygen plasma enhanced ZnO atomic layer deposition using in situ spectroscopic ellipsometry 氧等离子体增强ZnO原子层沉积过程中厚度和粗糙度参数的周期内演变
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Yousra Traouli; Ufuk Kılıç; Sema G. Kilic; Matthew Hilfiker; Daniel Schmidt; et al 出版日期：2024-09-01 |
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