Magnetron Sputtered Thin Films Based on Transition Metal Nitride: Structure and Properties

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标题	Magnetron Sputtered Thin Films Based on Transition Metal Nitride: Structure and Properties 过渡金属氮化物磁控溅射薄膜的结构与性能相关领域溅射材料科学薄膜溅射沉积氮化物高功率脉冲磁控溅射物理气相沉积基质（水族馆）光电子学腔磁控管氮化锆工程物理纳米技术图层（电子）氮化钛工程类地质学海洋学
网址	https://doi.org/10.1002/pssa.202200229
DOI	10.1002/pssa.202200229 doi
其它	期刊：Physica Status Solidi A-applications and Materials Science 作者：G. Sri Bharani; Sumitra Sharma 出版日期：2022-12-16
求助人	心有意在 2024-10-04 18:57:24 发布自湖北，悬赏 10 积分
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