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![]() 直拉硅晶体连续生长过程中不同隔热罩和侧壁隔热设计对热和氧传输的影响
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Thi-Hoai-Thu Nguyen; Jyh-Chen Chen; Chun-Chung Chen 出版日期:2024-05-21 |
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