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 Area Selective Deposition for Bottom-up Atomic-Scale Manufacturing 用于自下而上原子级制造的区域选择性沉积
相关领域
原子单位
沉积（地质）
原子层沉积
比例（比率）
材料科学
纳米技术
环境科学
地质学
物理
薄膜
古生物学
量子力学
沉积物
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期刊：International Journal of Machine Tools & Manufacture 作者：Rong Chen; Eryan Gu; Kun Cao; Jingming Zhang 出版日期：2024-06-01 |
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