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书籍（章节） New Directions in the Design of Chemically Amplified Resists
化学放大抗蚀剂设计的新方向
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网址
https://doi.org/10.1021/bk-1994-0579.ch005
DOI
10.1021/bk-1994-0579.ch005 doi
其它 期刊：ACS symposium series
作者：Elsa Reichmanis; Mary E. Galvin; Kathryn E. Uhrich; Peter A. Mirau; Sharon A. Heffner
出版日期：1995-05-05
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虚心盼夏 在 2024-12-19 13:50:36 发布自上海，悬赏 30 积分
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