标题 |
Carbon hard masks for etching sub-90 nm structures
用于蚀刻亚90nm结构的碳硬掩模
相关领域
德拉姆
蚀刻(微加工)
材料科学
纳米技术
碳纤维
氧化物
氮化物
氮化碳
光电子学
化学
复合材料
图层(电子)
冶金
催化作用
复合数
光催化
生物化学
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