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标题
Experimental study of nanoscale Co damascene BEOL interconnect structures
纳米级Co大马士革BEOL互连结构的实验研究
相关领域
铜互连 材料科学 互连 电迁移 光电子学 生产线后端 电介质 薄板电阻 泄漏（经济） 电阻式触摸屏 阻挡层 图层（电子） 电气工程 纳米技术 复合材料 计算机科学 电信 宏观经济学 经济 工程类
网址
https://doi.org/10.1109/iitc-amc.2016.7507673
DOI
10.1109/iitc-amc.2016.7507673 doi
其它 期刊：
作者：James J. Kelly; Jinai Chen; Huai Huang; C.‐K. Hu; E. Liniger; et al
出版日期：2016-05-01
求助人
一只壁虎 在 2024-11-07 21:09:24 发布自福建，悬赏 10 积分
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