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14Nm Fin Sadp Patterning Processes and Integration
14纳米鳍Sadp图案化工艺与集成
相关领域
多重图案
鳍
过程(计算)
节点(物理)
钥匙(锁)
计算机科学
纳米技术
材料科学
工程类
机械工程
抵抗
结构工程
图层(电子)
计算机安全
操作系统
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期刊: 作者:YI Chun-yan; Ming Li; Yongjian Lou; Weijun Wang; Zhunhua Liu; et al 出版日期:2020-06-26 |
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