A novel quasi-static MEMS piezoelectric micromirror array with a high fill factor and three degrees of freedom

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标题	A novel quasi-static MEMS piezoelectric micromirror array with a high fill factor and three degrees of freedom 一种新型高填充因子三自由度准静态MEMS压电微镜阵列相关领域微电子机械系统压电材料科学自由度（物理和化学）光学光电子学物理复合材料量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115597
DOI	10.1016/j.sna.2024.115597 doi
其它	期刊：Sensors and Actuators A-physical 作者：Yongquan Su; Yichen Liu; Yang Wang; Qianying Sun; Qifeng Qiao; et al 出版日期：2024-10-01
求助人	hl_sci 在 2024-09-25 15:53:29 发布自北京，悬赏 10 积分
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