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 Mechanisms of acid generation from ionic photoacid generators for extreme ultraviolet and electron beam lithography 极紫外光刻和电子束光刻用离子光酸发生器产酸机理
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期刊：Physical chemistry chemical physics/PCCP. Physical chemistry chemical physics 作者：Chengbin Fu; Kun Du; Junmin Xue; Hanshen Xin; Jianhua Zhang; et al 出版日期：2024-01-01 |
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