Physicochemical and structural properties of silica films prepared from perhydropolysilazane using vacuum ultraviolet irradiation

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标题	Physicochemical and structural properties of silica films prepared from perhydropolysilazane using vacuum ultraviolet irradiation 全氢聚硅氮烷真空紫外光制备二氧化硅薄膜的物理化学和结构性能相关领域辐照真空紫外紫外线照射紫外线材料科学化学工程光学光电子学物理工程类核物理学
网址	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2024.140453
DOI	10.1016/j.tsf.2024.140453 doi
其它	期刊：Thin Solid Films 作者：Yasuhiro Naganuma; C. Kato; Toshiyuki Watanabe; Satoru Kaneko; Satomi Tanaka 出版日期：2024-07-01
求助人	Da 在 2024-11-20 09:54:30 发布自上海，悬赏 10 积分
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