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 Resonance frequency analysis of a dual-frequency capacitive micromechanical ultrasonic transducer for detecting high and low pressures simultaneously with high sensitivity and linearity 高灵敏度、高线性同时检测高低压的双频电容微机械超声换能器谐振频率分析
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：Xiaoli Zhang; Lu Yu; Qing Guo; Dachao Li; Hui Zhang; et al 出版日期：2019-10-16 |
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