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 Pre-Amorphous Implant and Millisecond Annealing for NiPt Sheet Resistance and Junction Leakage Reduction 用于NiPt薄片电阻和结漏降低的预非晶注入和毫秒退火
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材料科学
薄板电阻
退火（玻璃）
硅化物
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硅
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冶金
电气工程
复合材料
工程类
结晶学
化学
宏观经济学
经济
图层（电子）
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10.1149/05201.0671ecst
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