标题 |
Comparative study of PE-BPSG and HDP-PSG as PMD for 0.25 μm memory device
PE-BPSG和HDP-PSG作为0.25 μ m存储器件PMD的比较研究
相关领域
材料科学
电介质
阈值电压
光电子学
非易失性存储器
化学气相沉积
晶体管
电压
电气工程
工程类
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其它 |
期刊:Proceedings of the IEEE 1999 International Interconnect Technology Conference (Cat. No.99EX247) 作者: Jengyi Yu; P. Gopalan; J. Feng 出版日期:2003-01-21 |
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