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 Bias-Assisted Photochemical Planarization of GaN(0001) Substrate with Damage Layer 带损伤层的GaN（0001）衬底偏压辅助光化学平坦化
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Shun Sadakuni; Junji Murata; Yasuhisa Sano; Keita Yagi; Satoshi Matsuyama; et al 出版日期：2013-02-28 |
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