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 Effect of complexing agent on ceria particle removal in post-STI CMP cleaning process 络合剂对STI后CMP清洗过程中氧化铈颗粒去除的影响
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期刊：Colloids and Surfaces A Physicochemical and Engineering Aspects 作者：Yan Mei; Baimei Tan; Shihao Zhang; Wei Li; Jinbo Ji; et al 出版日期：2023-02-01 |
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