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 Characterising a Custom-Built Radio Frequency PECVD Reactor to Vary the Mechanical Properties of TMDSO Films 表征定制的射频PECVD反应器以改变TMDSO薄膜的机械性能
相关领域
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纳米压痕
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X射线光电子能谱
椭圆偏振法
化学气相沉积
薄膜
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期刊：Molecules 作者：Racim Radjef; Karyn L. Jarvis; Colin Hall; Andrew Siao Ming Ang; Bronwyn Fox; et al 出版日期：2021-09-16 |
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