Indium-free Zn-Sn-Al-O based thin-film transistors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition

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标题	Indium-free Zn-Sn-Al-O based thin-film transistors fabricated by plasma-enhanced atomic layer deposition 等离子体增强原子层沉积制备无铟Zn-Sn-Al-O基薄膜晶体管相关领域材料科学原子层沉积铟图层（电子）薄膜晶体管等离子体沉积（地质）光电子学晶体管薄膜纳米技术电气工程电压古生物学物理工程类量子力学沉积物生物
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2025.109369
DOI	10.1016/j.mssp.2025.109369 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Shice Wei; Xiaojun Yu; Bojia Chen; Jiyuan Zhu; Xuefeng Wu; et al 出版日期：2025-02-07
求助人	eyou 在 2025-02-20 13:49:03 发布自福建，悬赏 10 积分
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