Multilayer SiNx passivated Al2O3 gate dielectric featuring a robust interface for ultralong-lifetime AlGaN/GaN HEMT

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标题	Multilayer SiNx passivated Al2O3 gate dielectric featuring a robust interface for ultralong-lifetime AlGaN/GaN HEMT 用于超长寿命AlGaN/GaN HEMT的具有鲁棒界面的多层SiNx钝化Al2O3栅极电介质相关领域材料科学高电子迁移率晶体管光电子学电介质接口（物质）栅极电介质晶体管电气工程复合材料电压毛细管数工程类毛细管作用
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2021.106038
DOI	10.1016/j.mssp.2021.106038 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Cong Wang; Yuchen Wei; Xiao Tan; Luqman Ali; Changqiang Jing 出版日期：2021-07-06
求助人	夕风残照在 2024-11-07 10:48:31 发布自北京，悬赏 10 积分
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