标题 |
![]() 用于ZnO薄膜晶体管的掺铝ZnO触点的原子层沉积
相关领域
原子层沉积
材料科学
兴奋剂
光电子学
图层(电子)
宽禁带半导体
沉积(地质)
薄膜晶体管
薄膜
晶体管
锌化合物
纳米技术
锌
电气工程
冶金
电压
古生物学
工程类
沉积物
生物
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Ben D. Rowlinson; Jiale Zeng; J.D. Akrofi; Christian Patzig; Martin Ebert; et al 出版日期:2024-01-01 |
求助人 | |
下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|