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标题
ILT optimization of EUV masks for sub-7nm lithography
相关领域
极紫外光刻 平版印刷术 材料科学 下一代光刻 浸没式光刻 抵抗 多重图案 光电子学 光刻 X射线光刻 进程窗口 计算机科学 制作 步进电机
网址
http://dx.doi.org/10.1117/12.2279912
DOI
10.1117/12.2279912 doi
其它 期刊：33rd European Mask and Lithography Conference
作者：Kevin Hooker; Kevin Lucas; Bernd Küchler; Aram Kazarian; Guangming Xiao
出版日期：2017-09-29
求助人
研友_nxVpl8 在 2020-10-20 14:45:21 发布，悬赏 10 积分
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