Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications

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标题	Magnetron sputtering: a review of recent developments and applications 相关领域高功率脉冲磁控溅射涂层沉积（地质）溅射沉积腔磁控管材料科学物理气相沉积溅射光学涂层工艺工程工程物理薄膜光电子学冶金纳米技术工程类地质学古生物学沉积物
网址	https://doi.org/10.1016/s0042-207x(99)00189-x
DOI	10.1016/s0042-207x(99)00189-x doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Peter Kelly; R.D. Arnell 出版日期：2000-03-01
求助人	大胆蛋挞在 2023-03-01 16:14:10 发布自上海，悬赏 10 积分
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