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Fabrication of 100nm metal lines on flexible plastic substrate using ultraviolet curing nanoimprint lithography
紫外光固化纳米压印光刻技术在柔性塑料衬底上制备100nm金属线
相关领域
纳米压印光刻 材料科学 光刻 平版印刷术 抵抗 固化（化学） 紫外线固化 聚合物 聚合物基片 聚对苯二甲酸乙二醇酯 制作 纳米技术 光电子学 复合材料 图层（电子） 医学 替代医学 病理
网址
https://doi.org/10.1063/1.2193653
DOI
10.1063/1.2193653 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Heon Lee; Sung‐Hoon Hong; Ki‐Yeon Yang; Kyungwoo Choi
出版日期：2006-04-03
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