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 Effect of H atoms and UV wideband radiation on cured low-k OSG films 氢原子和紫外宽带辐射对固化低k OSG薄膜的影响
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期刊：Journal of Physics D Applied Physics 作者：D. V. Lopaev; A I Zotovich; Sergey Zyryanov; М. А. Богданова; T V Rakhimova; et al 出版日期：2022-03-17 |
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