Vertically Integrated Self‐Monitoring AlGaN‐Based Deep Ultraviolet Micro‐LED Array with Photodetector Via a Transparent Sapphire Substrate Toward Stable and Compact Maskless Photolithography Application

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标题	Vertically Integrated Self‐Monitoring AlGaN‐Based Deep Ultraviolet Micro‐LED Array with Photodetector Via a Transparent Sapphire Substrate Toward Stable and Compact Maskless Photolithography Application 垂直集成自监测AlGaN基深紫外微LED阵列，通过透明蓝宝石衬底实现稳定和紧凑的无掩模光刻应用
网址	https://doi.org/10.1002/lpor.202401220
DOI	10.1002/lpor.202401220 doi
其它	期刊：Laser & Photonics Reviews 作者：Huabin Yu; Jikai Yao; Muhammad Hunain Memon; Yuanmin Luo; Zhixiang Gao; et al 出版日期：2024
求助人	jacob258 在 2024-09-30 23:11:55 发布自江苏，悬赏 10 积分
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