Influence of ejection angle on residual stress and optical properties of sputtering Ta2O5 thin films

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标题	Influence of ejection angle on residual stress and optical properties of sputtering Ta2O5 thin films 喷射角对溅射Ta2O5薄膜残余应力和光学性能的影响相关领域材料科学溅射薄膜残余应力微观结构复合材料无定形固体薄脆饼扫描电子显微镜光学分析化学（期刊）结晶学光电子学化学纳米技术色谱法物理
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S016943320...
DOI	10.1016/j.apsusc.2008.08.049 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Chuen-Lin Tien 出版日期：2008-09-08
求助人	欣慰富在 2024-10-22 09:24:11 发布自浙江，悬赏 10 积分
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